聚焦纳米探针，共话技术前沿｜CTI华测检测纳米探针技术研讨会圆满收官

2026年3月24日，由CTI华测检测半导体检测及分析中心主办的“纳米探针技术研讨会”于上海成功举办。

　　本次研讨会聚焦纳米探针检测技术在半导体失效分析与器件表征领域的应用及实践，特邀Imina Technologies、国仪量子、是德科技的原厂技术专家莅临现场进行深度分享，吸引了来自半导体设计、制造、封测及车规电子等领域的行业同仁积极参与，共同呈现了一场微纳检测领域的技术盛宴。

　　研讨会期间，我们联合行业核心伙伴，系统性地呈现了全链路、多层次的纳米探针检测技术内容，Imina Technologies分享了适配多电镜的纳米探针解决方案，其自研移动机器人技术结合了亚纳米分辨率与厘米级移动范围，核心机械手可与国仪量子设备匹配，配套软件优化了全流程。是德科技展示了模块化的B1500A半导体器件分析仪，测量精度达0.1fA，并能与Imina系统协同提供端到端方案。国仪量子则展示了半导体检测国产化方案，推出了全系列电镜产品，其核心DB550双束电镜性能优异，可实现从失效定位到样品制备的全流程操作。

　　作为主办方，CTI华测检测半导体检测及分析中心的沈玄博士也带来了《电子显微镜助力芯片失效分析全揭秘》的主题分享。他指出，电子显微镜已发展为集观测、分析与精密操纵于一体的综合平台。针对纳米探针技术，他强调了其在精密操纵上的价值：基于SEM的纳米探针系统可实现单晶体管级原位电性能测试，配合EBAC、EBIRCH等技术可精准定位高阻开路、低阻漏电等疑难缺陷，为芯片失效分析提供了从定位到修复的全流程解决方案。

　　除内容详实的主题报告外，本次研讨会还设置了实机演示与自由交流环节。现场实际展示了Imina纳米机械手搭载国仪量子SEM机台所组成的纳米探针检测系统，直观呈现EBIC/EBAC失效分析的全流程操作，使与会嘉宾近距离体验纳米探针技术的实际应用价值。

　　本次研讨会的成功举办，得益于各位行业同仁的大力支持。在此，我们向所有与会嘉宾、分享专家及赞助单位表示由衷感谢。

　　与此同时，我们也为每位参会嘉宾准备了印有CTI华测检测标识的定制防静电镊子，并正式启动2026年度“集镊兑奖”计划的首站活动。

　　未来我们还将持续推出半导体检测领域的前沿技术分享、深度行业交流与实景设备演示，并带来更多专属福利与年度终极大奖。

　　依托集团全球化的服务网络与半导体中心多年的技术积累，CTI华测检测始终秉持“用芯让质量发光”的宗旨，持续深耕半导体检测技术领域，以专业检测能力与全链条技术服务，助力中国半导体产业的高质量发展。

　　期待与您再次相聚，共探微纳检测新可能，共话半导体产业新未来。