随着芯片集成度的不断提高，结构日臻复杂，对芯片结构的极致显微分析能力对于失效分析实验室显得尤为重要。

　　为此，CTI华测检测半导体检测及分析中心于年底正式引进了国仪量子SEM5000X场发射扫描电子显微镜，实验室的芯片检测与分析能力迈上新台阶，为合作伙伴提供更可靠、更及时、更有效的质量保障。

 

产品亮点：革命性的分辨率表现

　　SEM5000X在15KV和1KV下分别具备0.6nm和1.0nm的超高分辨率，这得益于高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺的全面升级。

 

　国仪量子SEM5000X场发射扫描电子显微镜

 

　　同时，其低电压分辨率表现尤为突出，能够减少荷电效应和辐照损伤的影响，并清晰呈现器件表面形貌和微纳结构。

　　

专为半导体设计：大尺寸样品支持

　　全新设计的样品仓配备16个扩展接口可以选配插入式背散射电子探测器(BSED)、扫描透射探测器(STEM)、能谱仪(EDS)等多种探测器，为客户提供完整半导体材料分析解决方案。

　　快速换样仓支持4寸晶圆（直径100mm），可以满足客户更大样品分析的需求。

　　高精度机械优中心样品台设计，结合整体罩壳设计，同时ag真人平台官方还额外配备了减震台和消磁器，可以最大程度上减少外部环境对测试结果的干扰，确保测量结果可靠。

　　

实际应用案例：直观展示检测实力

　　不同加速电压下，背散射电子和二次电子探头清晰呈现芯片结构细节：

 

质厚衬度更加明显

 

结构细节更加丰富

　

核心参数

分辨率：0.6nm 15KV(SE)，1.0nm 1KV(SE)

加速电压：20V~30KV连续可调

放大倍率：1~2,500,000x

样品台行程：X=110mm，Y=110mm，Z=65mm，支持-10°~+70°倾斜

电子枪类型：肖特基场发射电子枪，确保长期稳定性

 

　　CTI华测检测依托先进的实验室与经验丰富的技术团队，致力于为行业客户提供全方位、高质量的半导体检测服务，助力企业精准定位问题、优化产品性能、提升可靠性。